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準(zhǔn)分子是一種半衰期非常短暫的分子狀態(tài)，由同種原子或者異種原子組合而成。其中一種原子的價(jià)電子層必須是全滿的（比如稀有氣體）。如果兩種原子都處于基態(tài)，準(zhǔn)分子預(yù)混氣價(jià)格，它們是不能形成化學(xué)鍵的。但如果價(jià)電子全滿的那個(gè)原子處于激發(fā)態(tài)，它們之間就能夠暫時(shí)形成化學(xué)鍵。盡管這種化學(xué)鍵的壽命往往非常短，只在納秒的量級(jí)。準(zhǔn)分子可以通過自發(fā)輻射或受激輻射，釋放出光子回到基態(tài)，準(zhǔn)分子預(yù)混氣廠家，基態(tài)的分子更加不穩(wěn)定，經(jīng)過幾個(gè)皮秒的時(shí)間，衰變成兩個(gè)未成鍵的原子。

準(zhǔn)分子激光技術(shù)（準(zhǔn)分子激光氣體產(chǎn)生激光）在制造業(yè)微加工應(yīng)用不斷擴(kuò)大，包括鉆石等激光打標(biāo)、材料表面改性、高碳鋼淬火、三維加工。準(zhǔn)分子激光技術(shù)在微加工中可以得到小孔，刻線，以及其他三維復(fù)雜的圖案，如果結(jié)合有效反饋( 比如，用激光測(cè)量)來控制光的輸入，青島準(zhǔn)分子預(yù)混氣，加工精度在深度方向可達(dá)亞微米量級(jí)。準(zhǔn)分子激光氣體使用短波長(zhǎng)使得側(cè)向的精度可達(dá)亞微米量級(jí)；然而，實(shí)現(xiàn)亞微米量級(jí)不僅依賴于激光性能。它還要求高重復(fù)率的運(yùn)動(dòng)控制，通常使用帶空氣軸承的平臺(tái)來移動(dòng)基底和鏡片，專業(yè)準(zhǔn)分子預(yù)混氣公司，鏡片移動(dòng)需要考慮到足夠的焦深，同時(shí)，實(shí)際加工時(shí)需要足夠大的視場(chǎng)。準(zhǔn)分子激光氣體尤其適合大面積，集中且重復(fù)性強(qiáng)的圖案。

準(zhǔn)分子激光由Nikolai Basov， V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所發(fā)明。使用電子束激發(fā)氙氣二聚體，產(chǎn)生的準(zhǔn)分子激光波長(zhǎng)為172nm。

1975年包括美國(guó)政府的海1軍研究實(shí)驗(yàn)室、諾思羅普研究和技術(shù)中心，Avco Everett研究實(shí)驗(yàn)室，和美國(guó)桑迪亞國(guó)家實(shí)驗(yàn)室在內(nèi)的多家政府研究機(jī)構(gòu)研究利用電子束激發(fā)惰性氣體鹵化物。

1979年西德Lambda Physik公司生產(chǎn)出第1臺(tái)商業(yè)用準(zhǔn)分子激光器。

迄今為止已經(jīng)發(fā)現(xiàn)的能夠產(chǎn)生準(zhǔn)分子激光的氣體有10多種。

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